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一、產品介紹

二、主要技術指標

1.  最小可檢漏率：5×10^-13Pa·m³/s

2.  漏率顯示范圍：1×10^-3—1×10^-13Pa·m³/s

3.  啟動時間：≤3min

4.  響應時間：≤0.5s

5.  檢漏口的最高壓力：1500Pa

6.  極限壓強：5×10^-4Pa

7.  機械泵抽速：3L/s

8.  電源要求：220V，50Hz，單相，10A

9.  工作環境：5-45℃

10. 相對濕度：≤80%

11. 外形尺寸：550（W）×450（D）×880（H）

12. 重量：60kg

三、主要配置

1.  進口檢漏儀專用分子泵

2.  優成機械泵

3.  內置標準漏孔

4.  美國AD放大器

5.  質譜專用模塊

6.  臺達液晶觸摸彩屏

四、氣路圖